勻膠機(jī)選購巧旋轉(zhuǎn)涂覆術(shù)

選購巧

從其原理來說，可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)

旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求*涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，?？诘膭蚰z機(jī)雖然大分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大分轉(zhuǎn)速精度沒有際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如:美NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)

真空泵定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)楹蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。用過產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這點(diǎn)許多外的勻膠機(jī)做得不錯，他們有通過聯(lián)動機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會開始旋轉(zhuǎn)。

材質(zhì)的選擇

對于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。